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MSA 170クローズドリニア格子定規
MSA 170クローズドリニア格子定規
製品の詳細

MSA 170閉塞アブソリュート直線格子定規

製品概要:

システム解像度:0.1-5.0 μm

さいしょうだんめんせき

ラスター定規ユニット:ガラス

グリッド間隔:20 μm

ハウジング両端の取付孔を介して取り付ける

技術パラメータ:

製品型番 しゅつりょくしんごう 解像度の測定 精度レベル 目盛間隔 内蔵サブディビジョン回路 うんてんそくど しゅつりょくしゅうはすう 信号エッジピッチamin
MSA 170.03 ∿ 1 Vss 外部細分回路に依存する ±3, ±5 μm/m 20 μm -- 1,0 m/s 50 kHz --
MSA 170.23 TTL 5,0 μm ±3, ±5 μm/m 20 μm 1逓倍 1,0 m/s -- 3,3 μs
MSA 170.63 TTL 1,0 μm ±3, ±5 μm/m 20 μm 5倍周波数 1,0 m/s -- 500 ns
MSA 170.73 TTL 0,5 μm ±3, ±5 μm/m 20 μm 10逓倍 1,0 m/s -- 300 ns
MSA 170.53 TTL 0,2 μm ±3, ±5 μm/m 10 μm 25逓倍 0,64 m/s -- 300 ns
MSA 170.83 TTL 0,1 μm ±3, ±5 μm/m 10 μm 50逓倍 0,32 m/s -- 300 ns

  • 標準測定長さ(ML):[mm]
    50~520

  • 格子定規ユニット:ガラス格子定規(α≒8.5×10-6/K)

  • 参照点:

    • 距離符号化(K):20 mm移動後に絶対位置値を提供する

    • 基準点の1つは、測定長さの中間位置または測定長さのいずれかの端の10 mm位置にあります。

    • オプション:1つの参照点が任意の位置にあり、他のnx 25 mmピッチの参照点が選択可能

  • EN 60529に基づくシール性能:

    • 標準:IP 53

    • DA 400を使用する場合:IP 64

  • 許容温度:-20°C(保管)、0°Cから+50°C(動作)

  • 重量(約重量):20 g+0.17 g/mm(ML)+35 g(リードヘッドケーブルなし)

  • 標準ケーブル:3 mケーブル、Sub-D針式継手付き15針

  • RoHS適合性:MSA 170シリーズ直線格子定規はRoHs指令2011/65/EUの電気及び電子機器における一部有害物質の使用制限に関する要求に適合する

製品寸法図:

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